二維過(guò)渡金屬碳化物和氮化物邁克烯(MXene)被公認(rèn)為在電子和光電器件中具有重要應(yīng)用潛力。然而，已報(bào)道的MXene薄膜的圖案化方法難以兼顧效率、分辨率和與主流硅工藝的兼容性。記者從中國(guó)科學(xué)院金屬研究所沈陽(yáng)材料科學(xué)國(guó)家研究中心獲悉，該中心科研人員與國(guó)內(nèi)多家單位科研團(tuán)隊(duì)合作，通過(guò)設(shè)計(jì)MXene材料的離心、旋涂、光刻和蝕刻工藝，提出了一種具有微米級(jí)分辨率的晶圓級(jí)MXene薄膜圖案化方法，并構(gòu)筑了1024高像素密度光電探測(cè)器陣列。
據(jù)介紹，該陣列具有優(yōu)異的均勻性、高分辨率成像能力、迄今為止最高的MXene光電探測(cè)器的探測(cè)度。該項(xiàng)研究將促進(jìn)兼容主流半導(dǎo)體工藝的大規(guī)模高性能MXene電子學(xué)的發(fā)展，研究成果近日在《先進(jìn)材料》上在線發(fā)表。
據(jù)介紹，電子束光刻法可以實(shí)現(xiàn)較高的圖案分辨率，但效率較低，不適用于大面積圖案化;直接寫(xiě)入、激光蝕刻和噴墨印刷等其他圖案化方法速度較快，但通常缺乏足夠的分辨率?？蒲腥藛T介紹，在對(duì)Ti3C2Tx溶液離心工藝和襯底親水性進(jìn)行優(yōu)化后，采用旋涂法制備了4英寸MXene薄膜，并通過(guò)優(yōu)化半導(dǎo)體光刻和干法刻蝕工藝實(shí)現(xiàn)了晶圓級(jí)MXene薄膜的圖案化，精度達(dá)到2μm?；诖耍Y(jié)合硅的光電性能，科研人員制備了MXene/Si肖特基結(jié)光電探測(cè)器，實(shí)現(xiàn)了高達(dá)7.73×1014Jones的探測(cè)度以及6.22×106的明暗電流比，為目前所報(bào)道的MXene光電探測(cè)器的最高性能。使用碳納米管晶體管作為選通開(kāi)關(guān)，科研人員制備了1晶體管-1探測(cè)器(1T1P)的像素單元，并成功構(gòu)筑了具有1024像素的高分辨率光電探測(cè)器陣列，為目前最大的MXene功能陣列。(科技日?qǐng)?bào)記者 郝曉明)
標(biāo)簽： 邁克烯晶 圓級(jí)光電探測(cè)器 取得新進(jìn)展 光電探測(cè)器
二維過(guò)渡金屬碳化物和氮化物邁克烯(MXene)被公認(rèn)為在電子和光電器件中具有重要應(yīng)用潛力。然而，已報(bào)道的MXene薄膜的圖案化方法難以兼顧效率
岸上的行人稍一靠近，原本在近岸悠哉游弋的魚(yú)群會(huì)立刻退避、保持安全距離……這一感知能力，來(lái)自魚(yú)類與水生兩棲類動(dòng)物進(jìn)化出的側(cè)線傳感器，
近日，精鋒單孔手術(shù)機(jī)器人SP1000在中國(guó)人民解放軍總醫(yī)院第一醫(yī)學(xué)中心成功完成了一例單孔手術(shù)機(jī)器人輔助腹腔鏡下卵巢囊腫剝除術(shù)。此次臨床試
據(jù)微軟創(chuàng)新故事網(wǎng)站14日最新消息，微軟Azure量子系統(tǒng)朝著創(chuàng)建拓?fù)淞孔游贿~出了關(guān)鍵一步，其研究人員發(fā)現(xiàn)了被稱為馬約拉納零模現(xiàn)象的證據(jù)，
數(shù)學(xué)在日常生活中無(wú)處不在，手機(jī)、信用卡、汽車中都有它的身影。聯(lián)合國(guó)教科文組織的一項(xiàng)新研究發(fā)現(xiàn)，可能沒(méi)有足夠的數(shù)學(xué)家來(lái)解決人類面臨的
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3月15日，記者從廣州中醫(yī)藥大學(xué)獲悉，近日，該校副校長(zhǎng)、廣東省中醫(yī)院(廣州中醫(yī)藥大學(xué)第二附屬醫(yī)院)副院長(zhǎng)張忠德團(tuán)隊(duì)與北京蛋白質(zhì)組研究中
英國(guó)《自然·通訊》雜志15日發(fā)表的一項(xiàng)發(fā)育生物學(xué)研究，美國(guó)賓夕法尼亞大學(xué)研究人員展示了一個(gè)微工程系統(tǒng)，可建模早期妊娠中發(fā)生的多細(xì)胞事
記者獲悉，廣州地鐵近日獲得由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局頒發(fā)的一種閃光焊軌機(jī)接頭調(diào)平裝置國(guó)家實(shí)用新型專利證書(shū)，這是廣州地鐵焊軌設(shè)備首個(gè)獲批的專利
常吃辣椒能有效減輕血管鈣化，從而減少心血管疾病發(fā)生的概率，這份研究為居民健康飲食又增加了一份權(quán)威指引。該研究成果來(lái)自于中山大學(xué)附屬
中國(guó)科學(xué)院昆明動(dòng)物研究所胡新天團(tuán)隊(duì)研究發(fā)現(xiàn)，低相關(guān)色溫的人工照明光源可以減慢幼猴的眼軸發(fā)育。眼軸過(guò)度增長(zhǎng)是青少年近視的主要原因，這
旗袍，中國(guó)和世界華人女性的傳統(tǒng)服裝，被譽(yù)為中國(guó)國(guó)粹和女性國(guó)服。雖然其定義和產(chǎn)生的時(shí)間至今還存有諸多爭(zhēng)議，但它仍然是中國(guó)悠久服飾文化
7月21日，北京市政府發(fā)布《北京市電影局關(guān)于在疫情防控常態(tài)化條件下有序推進(jìn)電影院恢復(fù)開(kāi)放的通知》，宣布全市低風(fēng)險(xiǎn)地區(qū)影院，可于7月24日
?武漢7·16渡江節(jié)組委會(huì)14日發(fā)布公告，由于長(zhǎng)江武漢關(guān)水位超警戒水位，按照規(guī)定取消2020年第46屆武漢7·16渡江節(jié)。受近期持續(xù)強(qiáng)降雨影響，
過(guò)去一段時(shí)間，國(guó)家級(jí)非遺項(xiàng)目灰塑傳承人邵成村，多次在陳家祠等工作現(xiàn)場(chǎng)，向身邊那些帶著好奇目光的人們講解灰塑的種種技術(shù)細(xì)節(jié)：草根灰、
7月13日，位于璧山區(qū)南門唐城夜市街區(qū)的璧山冷酒夜市開(kāi)街。這是璧山區(qū)打造夜間經(jīng)濟(jì)消費(fèi)載體、培育夜間經(jīng)濟(jì)活動(dòng)品牌的舉措之一。璧山市民一
